Unter dem Begriff Messgenauigkeit wird umgangssprachlich alles verstanden, was die Unsicherheit der Messergebnisse charakterisiert. Im Detail zeigt sich jedoch, dass zwischen verschiedenen Kategorien zu unterscheiden ist:

• Beschreibung des kleinsten unterscheidbaren Schrittes der mit Sensoren und Geräten gemessenen Werte oder auch der kleinsten messbaren Merkmale (Auflösung)
• Definition von Kenngrößen und Verfahren zu deren Überprüfung, um die messtechnische Leistungsfähigkeit von Koordinatenmessgeräten zu spezifizieren (Spezifikation, Annahmeprüfung, Überwachung)
• Unsicherheit der Messergebnisse beim Messen von Merkmalen an Werkstücken unter Berücksichtigung aller Einflussfaktoren (Messunsicherheit) und Verfahren zu deren Ermittlung
• Festlegung und Überprüfung der geeigneten Werte für das Verhältnis von Messunsicherheit zu Merkmalstoleranz (Messprozesseignung).