Ein konfokaler Flächensensor (z. B. Werth NFP: Nanofocus Probe, Abb. 24) projiziert Licht über ein Abbildungssystem auf das Objekt. Eine kleine Lochblende reduziert die Größe des Lichtflecks auf einen sehr kleinen Bereich. Wird der Lichtpunkt durch eine Bewegung des Sensorkopfs defokussiert, wird das Licht über eine größere Fläche verteilt und der abgeblendete Lichtpunkt auf dem Objekt dunkler.
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